真空管式爐的安全使用注意事項(xiàng)
更新時(shí)間：2017-09-21 點(diǎn)擊次數(shù)：1596
真空管式爐是在真空環(huán)境中進(jìn)行加熱的設(shè)備，一般由爐膛、電熱裝置、密封爐殼、真空系統(tǒng)、供電系統(tǒng)和控溫系統(tǒng)等組成。真空爐按加熱元件分為真空電阻爐、真空感應(yīng)爐、真空電弧爐、真空自耗電弧爐、電子束爐和等離子爐等。
真空管式爐一般在春秋季節(jié)泄漏故障較多，長(zhǎng)期閑置的真空爐在才次使用時(shí)真空爐泄漏故障比較易發(fā)生。
這時(shí)間就必須進(jìn)行真空檢漏，真空檢漏一般采取每月一次測(cè)壓升率(在常溫下，關(guān)閉所有真空閥，停止真空系統(tǒng)運(yùn)轉(zhuǎn)，1Omin后讀一個(gè)數(shù)，1h后再讀一個(gè)數(shù)，兩數(shù)之差是壓升率的數(shù)值)，掌握設(shè)備泄漏變化趨勢(shì)，如真空設(shè)備連續(xù)停機(jī)一個(gè)禮拜，要空運(yùn)轉(zhuǎn)一次（進(jìn)行烘爐）。
1、在實(shí)驗(yàn)工作完畢以后，要關(guān)特殊氣體，保留N2流動(dòng)即可。真空氣氛爐管要保持在standby溫度，并要仔細(xì)查看其它電源是否關(guān)閉，如果沒有就隨手關(guān)閉。
2、在晶片進(jìn)出爐口承接boat的holder的時(shí)候，盡量不要碰觸管式爐的爐管口，以免爐管受到污染。
3、在沒有使用到時(shí)，要將爐子的長(zhǎng)短推桿的前端朝上放置，以免污染。
4、在使用管電爐時(shí)還要避免吸入從爐子或者是處理槽所冒出的各種氣體，以便發(fā)生中毒的情況。
5、工件--工件車須經(jīng)清洗干燥后方克進(jìn)入爐內(nèi)，防止水份、污物進(jìn)入爐內(nèi)。
6、各傳動(dòng)件發(fā)現(xiàn)卡位，限位不準(zhǔn)，控制失靈等現(xiàn)象時(shí)，應(yīng)立即排除，不要強(qiáng)操作，以免損壞機(jī)件。
在試驗(yàn)過程中，請(qǐng)節(jié)約純水的使用，一旦發(fā)現(xiàn)安全隱患或者不正常的現(xiàn)象時(shí)，要盡快通知有關(guān)技術(shù)人員，以防止事故的發(fā)生。
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