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含滑軌法蘭的管式爐--OTF-1200X-SF

簡要描述:OTF-1200X-4-SF是一款爐管尺寸為100mm,帶有滑軌法蘭的管式爐,Z高工作溫度為1200℃,此款管式爐專為客戶自己搭建CVD系統(tǒng)而設(shè)計(jì)。

  • 產(chǎn)品型號:OTF-1200X-SF
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2024-10-22
  • 訪  問  量:2181

詳細(xì)介紹

OTF-1200X-4-SF是一款爐管尺寸為100mm,帶有滑軌法蘭的管式爐,zui高工作溫度為1200℃,此款管式爐專為客戶自己搭建CVD系統(tǒng)而設(shè)計(jì)。

 

技術(shù)參數(shù)

爐體結(jié)構(gòu)

  • 爐管尺寸:100mmO.Dx94mmI.Dx750mmL(石英管)
  • zui高工作溫度為1100℃
  • 右端安裝有一水冷滑軌法蘭,以便于放樣和取樣
  • 在預(yù)熱爐體和主反應(yīng)爐體之間有一水冷法蘭
  • 左端水冷法蘭上有個氣體接口,用于客戶通入反應(yīng)氣體(點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料)
  •  

電源

單相, 220V AC, 50/60 Hz

zui大功率    

3.6KW(需要20A的空氣開關(guān))

加熱區(qū)

  • 主反應(yīng)爐:440mm
  • 恒溫區(qū):100mm

溫控系統(tǒng)

  • 采用PID方式來調(diào)節(jié)溫度,可設(shè)置30段升降溫程序
  • 采用K型熱電偶
  • 控溫精度:+/- 1
  • 可選購控溫軟件,可通電腦來設(shè)置和顯示溫度程序
  •   

密封法蘭

右端法蘭:

  • 水冷卻法蘭,通過冷卻循環(huán)水對密封圈進(jìn)行水冷(可在本公司購買循環(huán)水冷機(jī))
  • 法蘭上有KF25接口,可通過波紋管與真空泵相連接
  • 爐體內(nèi)的樣品臺與法蘭相連接,并且右端法蘭為滑軌法蘭,以便于放樣和取樣
  • 法蘭上安裝有一數(shù)顯防腐真空計(jì)(如下圖)

凈重

100kg

尺寸

 

  • 右端法蘭關(guān)閉時的尺寸:1220mm×458mm×585mm(48"L X 18"W X 23"H)
  • 右端法蘭打開時的zui大尺寸:1676mm×458mm×585mm(66"L X 18"W X 23"H)

質(zhì)保

一年質(zhì)保期,終身維護(hù)(不包含爐管、密封圈和加熱元件)

質(zhì)量認(rèn)證

  • 質(zhì)量認(rèn)證
  • 所有電器元件(輸入電壓>24V)都通過了UL認(rèn)證
  • 本公司所有高溫爐都可通過TUV、UL或CSA認(rèn)證
  •      

注意事項(xiàng)

  • 爐管內(nèi)氣壓(相對氣壓)需小于0.02MPa
  • 所用氣瓶上必須安裝減壓閥(可在本公司購買減壓閥)
  • 當(dāng)設(shè)備溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)部不可處于真空狀態(tài),需處于常壓或微正壓狀態(tài)
  • 進(jìn)氣流量需小于200sccm

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