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SOI薄膜（Si+SiO2+Si）

簡(jiǎn)要描述：SOI薄膜（Si+SiO2+Si）

  • 產(chǎn)品型號(hào)：
  • 廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間：2024-10-22
  • 訪  問(wèn)  量：1787

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品名稱(chēng)：

SOI基片（Si+SiO2+Si）

常規(guī)尺寸：

dia4" 鍍膜層：20um Si P/B + 2umSiO2+500um Si undoped


技術(shù)參數(shù)：

國(guó)產(chǎn)SOI：膜層厚度可以按照客戶需求加工

①頂層2um±0.5（5點(diǎn)）, BOX層2um±0.1 ,  P型，總厚度大約621um, 平整度LTV < 1um

②頂層3um±0.5（5點(diǎn)）, BOX層2um±0.1，P型，總厚度大約622um, 平整度LTV < 1um

電阻率Ω.cm：15-25 ohm.cm；

進(jìn)口SOI：

點(diǎn)擊查看：http://mtixtl.com/soiwafersilicononinsulator.aspx


常規(guī)尺寸：

SOI

φ6″100>/<110>鍍2umSiO2層鍍2umSi層-1sp

SOI

φ4″<100>/<110>鍍0.375umSiO2層鍍0.2umSi層-1sp

SOI

φ4″<100>/<110>鍍0.375umSiO2層鍍1umSi層-1sp

SOI

φ6″<100>/<110>鍍0.375umSiO2層鍍1umSi層-1sp

SOI

φ6″-<100>鍍0.375umSiO2層鍍0.1umSi層-1sp

SOI

φ6″-<100>鍍3umSiO2層鍍220nmSi層-1sp


備注：

1000級(jí)超凈室100級(jí)超凈袋單片盒或25片插盒封裝

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