18255163376
EQ-TM106膜厚監(jiān)測儀是采用石英晶體振蕩原理，結合先進的頻率測量技術，進行膜厚的在線監(jiān)測。主要應用于MBE、OLED熱蒸發(fā)、磁控濺射等設備的薄膜制備過程中，對膜層厚度及鍍膜速率進行實時監(jiān)測。根據實時速率可以輸出PWM模擬量，作為膜厚傳感器使用，與調節(jié)儀和蒸發(fā)電源配合實現蒸發(fā)源的閉環(huán)速率控制。
VTC-2DC是一款小型的直流（DC）等離子體磁控濺射鍍膜儀系統(tǒng)，系統(tǒng)中包含了所有所需的配件，如500W（600V）的DC電源、2英寸的磁控濺射頭、石英真空腔體、真空泵和溫度控制器等。對于制作一些金屬薄膜，它是一款物美價廉的實驗手。
VTC-2RF是一款小型的射頻（RF）等離子體磁控濺射鍍膜儀系統(tǒng)，系統(tǒng)中包含了所有所需的配件，如300W（13.5MHz）的RF電源、2“的磁控濺射頭、石英真空腔體、真空泵和溫度控制器等。對于制作一些金屬薄膜及非金屬薄膜，它是一款物美價廉的實驗幫手。
VTC-1RF是一款小型臺式單靶等離子濺射儀（射頻磁控型），配有1英寸的磁控等離子濺射頭和射頻（RF）等離子電源，此款設備主要用于制作非導電薄膜，特別是一些氧化物薄膜。對于新型非導電薄膜的探索，它是一款廉價并且高效的實驗幫手。
聯系我們
中美合資合肥科晶材料技術有限公司 公司地址：安徽省合肥市蜀山區(qū)科學院路10號 技術支持：化工儀器網掃一掃 更多精彩
微信二維碼
網站二維碼
歡迎來到