2英寸高真空磁控濺射頭--HVMSS-SPC-2-LD

簡要描述：HVMSS-SPC-2是一款可安裝直徑為2英寸靶材的磁控濺射頭，可適用的靶材種類較廣，如金屬/絕緣靶材或磁性/非磁性靶材。環(huán)形NdFeB永磁體安裝在濺射頭上，以保證濺射鍍膜的效率和均勻性。此款濺射頭可與DC或RF電源配合使用。

產(chǎn)品分類

詳細介紹

HVMSS-SPC-2是一款可安裝直徑為2英寸靶材的磁控濺射頭，可適用的靶材種類較廣，如金屬/絕緣靶材或磁性/非磁性靶材。環(huán)形NdFeB永磁體安裝在濺射頭上，以保證濺射鍍膜的效率和均勻性。此款濺射頭可與DC或RF電源配合使用。

技術參數(shù)

特征 (點擊圖片查看詳細資料）	采用高質量的不銹鋼和陶瓷材料制作采用電磁場的有元計算法來設計永磁體，以得到較高的磁場強度和均強場分布磁體表面涂有一層保護層，以防止冷卻水的腐蝕，延長其使用壽命標準的HN型接頭，可與DC和RF電源相匹配安裝是采用標準真空接頭，便于操作更換靶材較為簡單，無需調整濺射頭的高度
所需功率	DC（zui大）1000W RF（zui大）500W
zui大濺射電流	3A
濺射電壓	100-1000 V
濺射時腔體真空度	5-100 mTorr
濺射均勻性曲線圖
尺寸	陽極護套直徑：3.5英寸總長度：14英寸
靶材	直徑: 2.0英寸(50.8mm) 厚度: 對于非磁性靶材，zui大厚度為1/4英寸對于磁性靶材，zui大厚度為1/16英寸靶材利用率：30% 磁鐵:NdFeB 稀土磁鐵
需要冷卻水	流速: 0.8 GPM 進水溫度:<20 ℃ 水管:0.25" OD.
可選配件	當同時購買300W射頻發(fā)射器和2英寸磁控濺射頭時，本公司會贈送一高真空快速接頭此快速接頭的內徑為0.75英寸，可將濺射頭安裝在真空腔體上，真空腔體上的安裝孔直徑為1英寸，真空腔體的壁厚不得大于1英寸循環(huán)水冷機，流量為16L / min ，水箱容積為6L
質保	一年質保期，終生維護